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商品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 尺寸 | 125*125*34.5mm | ||
| 厚度 | 34.5mm | ||
| 长度 | 125mm | ||
| 重量 | 1360 g | ||
| 分辨率 | 2 nm | ||
| 是否进口 | 否 | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 运动自由度 | X、Y、Z | ||
| 标称行程范围 | XY200，Z100 μm | ||
| 低温行程范围 | XY80，Z50 μm | ||
| 空载谐振频率 | X180/Y180/Z250 Hz | ||
| 带载 200g 谐振频率 | X140/Y140/Z200 Hz | ||
| 静电容量 | XY3.6，Z7.2 μF | ||
| 承载能力 | 700 g | ||
| 特点 | 真空低温无磁 | ||
| 可售卖地 | 全国 | ||
| 用途 | 半导体加工 | ||
| 材质 | 钛 | ||
| 型号 | XD106 | ||
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