熔融石英JGS1基底激光波前检测用台阶玻璃

本产品采用紫外级合成熔融石英（JGS1）制造，专门用于激光波前质量的高精度检测与标定。作为干涉测量系统的核心基准元件，它通过精密的台阶结构为激光波前分析提供可靠的相位参考，是光学制造、激光技术和高精度计量领域不可或缺的检测工具。

核心特性与优势

精密台阶设计：产品表面加工有纳米级精度的台阶结构，形成确定的光程差。该结构在干涉测量中产生标准的相位阶跃，为量化激光波前畸变（如像散、球差等）提供绝对参考，测量分辨率可达纳米级。

优异的材料性能：

• 高透过率与均匀性：在190-2100nm宽光谱范围（尤其深紫外波段）保持高透过率，内部折射率均匀性优于±1×10??，几乎不引入附加波前误差

• 卓越稳定性：热膨胀系数仅5.5×10??/℃，抗热冲击性强，在激光功率波动或温度变化时性能稳定

• 高激光损伤阈值：特别适合高能激光和准分子激光系统的原位检测

超精密加工质量：

• 表面面形精度达λ/20（@632.8nm），粗糙度优于0.5nm

• 台阶高度公差严格控制在±5nm内，部分型号提供校准证书

• 双面可镀制增透膜，在特定波长透光率超过99%

应用领域

主要用于：高能激光器出厂波前检验、光刻机物镜等复杂光学系统像差标定、夏克-哈特曼等波前传感器校准、精密光学元件面形误差检测。作为传递标准，它确保从研发到生产全过程的光学质量可控。

该产品在百级洁净环境下生产包装，满足半导体和精密光学行业标准，为激光系统性能评估和光学制造质量提升提供关键计量保障。