德国MLase准分子激光器 MLI- 200 / 500 / 1000技术参数
产品价格：￥300000.00（人民币）
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商品详情
德国MLase准分子激光器 MLI- 200 / 500 / 1000技术参数
MLI系列负责工业安全和环境保护
德国MLase准分子激光器 MLI- 200 / 500 / 1000
MLI系列负责工业安全和环境保护
MLI- 200 / 500 / 1000主要功能
? 刚性设计
客户利益
? 高可靠性
? 电晕预电离? 均质梁轮廓
? 固态电路? 立即可用，无老化
? 管子技术? 管道全金属密封
? 寿命延长数十亿
脉冲
? 能量监测器? 能量稳定化
? 紧凑型Excimerlaser，
单相
? 易于操作，易于集成
MLI- 200 / 500 / 1000规格*
参数ArF-ArF-ArF KrF-KrF-KrF
波长（nm）193 193 248 248 248
最大重复频率（Hz）200 500 1000 200 500 1000
稳定脉冲能量（mJ）6 6 6 10 10 10
稳定脉冲功率（W）1,2 3,0 6,0 2,0 5,0 10
能量稳定性（σ，%）2 2 2 2
梁尺寸（FWHM，V x H mm）6x3 6x3 6x4 6x3 6x6
光束发散度（FWHM，V x H mrad）2x1 2x1 2x2 2x1 2x 1 2x1
脉冲持续时间（FWHM）（ns）5-10 5-10 5-10 5-15 5-15 5-16
重量/设施/尺寸
重量应用程序。75千克
冷却空气
电气230V，50/60Hz，最大2000W。
尺寸（长x宽x高）560 x 315 x 445mm
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德国MLase准分子激光器 MLI- 200 / 500 / 1000
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