GWS-晶圆外延缺陷检测系统
GWS-晶圆外延缺陷检测系统
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    商品详情

      从操作员的目视检查到检测设备的自动化

       

      1) 超越目视检查水平的检测性能

      2) 缺陷位置的可视化以及缺陷图像可存储化

      3) 可对应OHT MES 

      表面检测

      背面检测

      检测对象缺陷

      结晶缺陷

      光斑、划痕、Edge亮点


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